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磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解已有3人参与
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本人使用磁控溅射制备ZTO薄膜，靶材是自制二元氧化物粉末压制靶材，发现如下问题： 1.靶材是压制的粉末靶材，底部使用Cu背靶，但是出现不亮辉。 2.使用直流，增大压强，和Ar气流量依旧没有辉光。 求各位大佬帮忙解答.. |
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9楼2020-12-24 10:52:03
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