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一岁就很乖

新虫 (正式写手)

[求助] 想请教一下有关硅的刻蚀问题已有1人参与

在下有一层很薄的铌酸锂薄膜,大概5微米吧,沉积在单晶硅(100)面上(厚度大概350微米),现在我想把这个硅给去掉,想请教一下有没有什么方法能够把硅去除干净又不损伤铌酸锂。
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