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ws4231153

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射Au靶材变黑已有5人参与

今天试了试课题组刚买的金靶,用的直流50w,真空3.6??10负4次方,室温,工作压强1pa,ar流量50sccm,溅射结束后金靶变成图二的样子,请问这是什么情况呢?而且基片的附着力也不是给好,超声一下就掉了,用溅射了1min的Ti打底

磁控溅射Au靶材变黑


磁控溅射Au靶材变黑-1


磁控溅射Au靶材变黑-2


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小青龙汤

新虫 (正式写手)


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附着性不好是不是因为ti底没打好,ti是作为衬底与Au的过度层吗?或许你可以延迟ti溅射时间或者稍微加点功率。至于为什么变我就不知道了,不好意思

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2楼2019-05-23 12:37:34
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ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 小青龙汤 at 2019-05-23 12:37:34
附着性不好是不是因为ti底没打好,ti是作为衬底与Au的过度层吗?或许你可以延迟ti溅射时间或者稍微加点功率。至于为什么变我就不知道了,不好意思

我也觉得可能Ti没做好,因为溅射完Ti我有取出来看,没看到有膜镀上去,下次多加些时间试试

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3楼2019-05-23 13:51:35
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小青龙汤

新虫 (正式写手)


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我问过一些大佬,他们说可能是打火了,也可能是因为工作气体不纯或者漏气或者工作腔不干净导致的靶中毒。可以考虑清洗一下腔体,看看有没有漏气,工作气体压强镀金一般不用一pa,太高了,他们说0.4-0.5就差不多了,还可以考虑把直流换成射频或者中频。

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4楼2019-05-23 15:16:43
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ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 小青龙汤 at 2019-05-23 15:16:43
我问过一些大佬,他们说可能是打火了,也可能是因为工作气体不纯或者漏气或者工作腔不干净导致的靶中毒。可以考虑清洗一下腔体,看看有没有漏气,工作气体压强镀金一般不用一pa,太高了,他们说0.4-0.5就差不多了, ...

那么这个中毒的靶怎么清理呢?还可以用吗?

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5楼2019-05-23 16:56:26
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小青龙汤

新虫 (正式写手)


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用细砂纸抹掉,然后再用溅射打平可以吗

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6楼2019-05-23 18:31:48
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091820053

新虫 (职业作家)



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这个靶的纯度多少呢

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7楼2019-05-24 09:23:53
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)


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1. 检查材料规格,包括材料的规格如纯度、表面状态等。
2. 对溅射环境的检查,如真空度,气体纯度,设备的捡漏
3. 溅射工艺的对比,之前有没有做过类似的溅射实验,电压,电流 预溅射时间,气体通量。
8楼2019-05-24 10:26:38
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崖岸自高

新虫 (正式写手)


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估计镀膜时腔室气体纯度不够,管路微漏或者室壁吸附气体放气。喷金用的小型离子溅射仪只用机械泵抽真空,真空度大约在6到8Pa时溅射镀膜,长期使用后金靶表面也会变黑。
9楼2019-05-28 12:02:01
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最强新材料

铜虫 (正式写手)


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材料和环境及工艺

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10楼2019-05-28 13:18:29
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