查看: 450  |  回复: 9

ws4231153

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射Au靶材变黑已有5人参与

今天试了试课题组刚买的金靶,用的直流50w,真空3.6??10负4次方,室温,工作压强1pa,ar流量50sccm,溅射结束后金靶变成图二的样子,请问这是什么情况呢?而且基片的附着力也不是给好,超声一下就掉了,用溅射了1min的Ti打底

磁控溅射Au靶材变黑


磁控溅射Au靶材变黑-1


磁控溅射Au靶材变黑-2


发自小木虫IOS客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小青龙汤

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

2楼2019-05-23 12:37:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 小青龙汤 at 2019-05-23 12:37:34
附着性不好是不是因为ti底没打好,ti是作为衬底与Au的过度层吗?或许你可以延迟ti溅射时间或者稍微加点功率。至于为什么变我就不知道了,不好意思

我也觉得可能Ti没做好,因为溅射完Ti我有取出来看,没看到有膜镀上去,下次多加些时间试试

发自小木虫IOS客户端
3楼2019-05-23 13:51:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小青龙汤

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

4楼2019-05-23 15:16:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 小青龙汤 at 2019-05-23 15:16:43
我问过一些大佬,他们说可能是打火了,也可能是因为工作气体不纯或者漏气或者工作腔不干净导致的靶中毒。可以考虑清洗一下腔体,看看有没有漏气,工作气体压强镀金一般不用一pa,太高了,他们说0.4-0.5就差不多了, ...

那么这个中毒的靶怎么清理呢?还可以用吗?

发自小木虫IOS客户端
5楼2019-05-23 16:56:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小青龙汤

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

6楼2019-05-23 18:31:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

新虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个靶的纯度多少呢

发自小木虫IOS客户端
7楼2019-05-24 09:23:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小米0锅巴

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
1. 检查材料规格,包括材料的规格如纯度、表面状态等。
2. 对溅射环境的检查,如真空度,气体纯度,设备的捡漏
3. 溅射工艺的对比,之前有没有做过类似的溅射实验,电压,电流 预溅射时间,气体通量。
8楼2019-05-24 10:26:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

崖岸自高

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
估计镀膜时腔室气体纯度不够,管路微漏或者室壁吸附气体放气。喷金用的小型离子溅射仪只用机械泵抽真空,真空度大约在6到8Pa时溅射镀膜,长期使用后金靶表面也会变黑。
9楼2019-05-28 12:02:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

最强新材料

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

10楼2019-05-28 13:18:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ws4231153 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 第三次作为函评专家评审NSFC +21 ljq125 2020-06-02 21/1050 2020-06-03 07:13 by superuirui
[考博] 寻今年尚有博士招生名额的导师 +3 广源 2020-06-02 3/150 2020-06-03 00:47 by OsIrPtAu
[考研] 323求调剂 +13 内心戏 2020-05-30 14/700 2020-06-02 20:39 by haomaier
[考研] 365 计算机 电子信息 求带走 +3 卡卡卡不 2020-06-02 7/350 2020-06-02 20:39 by haomaier
[基金申请] 67批博后基金-6月新帖 +11 Iris1120 2020-06-01 21/1050 2020-06-02 20:21 by Iris1120
[考研] 289求调剂 +4 『萧沐』 2020-06-02 7/350 2020-06-02 15:51 by 『萧沐』
[考研] 本科生物科学(师范),过六级,接受跨专业调剂 +5 没有心 2020-06-01 6/300 2020-06-02 09:35 by guorui-0000
[教师之家] 哎,被拒绝的理由竟然是! +10 粒粒T 2020-06-01 15/750 2020-06-02 08:55 by sunhq0
[生物科学] 新手如何进行科研 +5 文武beibei 2020-05-28 11/550 2020-06-01 22:59 by 文武beibei
[金融投资] 2020年5月份短线荐股月度评比 (EPI+4)+4 卓zhuo 2020-05-31 4/200 2020-06-01 19:50 by hym2222316
[考研] 调剂拟录取,又不想去了 +31 走出半生 2020-05-30 54/2700 2020-06-01 13:45 by 走出半生
[基金申请] 山东省自然科学基金现在到什么节点了? +5 qjh888 2020-05-29 9/450 2020-06-01 09:40 by fortran8768
[考研] 六级成绩538, 三年Java开发经验,希望有书读 +3 么么哒22 2020-05-31 3/150 2020-05-31 23:44 by 88888deng
[考研] 专硕293求调剂 +5 图灵的AI 2020-05-31 5/250 2020-05-31 23:02 by gsfshy
[教师之家] 嗯?是个人都能做领导? +19 Susie0106 2020-05-28 31/1550 2020-05-31 22:13 by 淡风
[找工作] 广东高校 +14 xue-xiaolan 2020-05-29 29/1450 2020-05-30 20:42 by 克林顿他爷
[功能材料] 求刻蚀薄膜XPS分析,坐标西安 +8 简语micky 2020-05-28 9/450 2020-05-29 15:50 by ren27201
[考研] 285求调剂 +4 lxj888888 2020-05-28 7/350 2020-05-29 01:10 by mywai520
[考研] 求调剂 +4 AK10414 2020-05-28 4/200 2020-05-28 17:13 by QLiu2628
[考研] 289电子信息求调剂 +5 axin0117 2020-05-28 6/300 2020-05-28 10:00 by axin0117
信息提示
请填处理意见