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ws4231153新虫 (小有名气)
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磁控溅射Au靶材变黑已有5人参与
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今天试了试课题组刚买的金靶，用的直流50w，真空3.6??10负4次方，室温，工作压强1pa，ar流量50sccm，溅射结束后金靶变成图二的样子，请问这是什么情况呢？而且基片的附着力也不是给好，超声一下就掉了，用溅射了1min的Ti打底   发自小木虫IOS客户端 |
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ws4231153
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