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Everest_lI

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控

磁控今天抽了3个小时真空,才4.2E-3pa,之前抽3个小时6E-4pa,这是什么原因啊,求大佬帮分析下

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土豆校长

新虫 (正式写手)

这种程度的漏气你怎么可能检查的到。听我的,用硅脂把反应室密封圈清理干净后均匀涂抹一遍,如果可以的话反应室里面用2000号砂纸仔细打磨一遍,一遍打磨一遍用无尘纸蘸着酒精清理,最后用吸尘器反复吸一遍。最后关上抽一次,第一次很慢必须的,第二次应该很快了

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自由人,随和派。
4楼2019-05-21 15:19:47
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

2楼2019-05-21 14:50:16
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Everest_lI

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jason-wong at 2019-05-21 14:50:16
漏气啊

气阀什么的都检查过了,没有漏气现象,会不会是泵出问题了呢

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3楼2019-05-21 14:58:48
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Everest_lI

新虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 土豆校长 at 2019-05-21 15:19:47
这种程度的漏气你怎么可能检查的到。听我的,用硅脂把反应室密封圈清理干净后均匀涂抹一遍,如果可以的话反应室里面用2000号砂纸仔细打磨一遍,一遍打磨一遍用无尘纸蘸着酒精清理,最后用吸尘器反复吸一遍。最后关上 ...

抽到这时候应该就可以用酒精检测了吧,在怀疑漏气的地方喷酒精。看来应该把腔体清理一遍了

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5楼2019-05-21 15:41:41
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