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herozhu木虫 (正式写手)
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求教！一些典型的具有上下对称微结构的半导体器件！
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| 如题，想给研究找一些应用背景，但对工业实际应用缺乏足够了解。咨询大家，是否有一些典型的半导体器件，要求在材料上下表面具有一一对应的微结构？盲孔对盲孔，槽对槽，阵列对阵列？还请不吝赐教！@yswyx |
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herozhu
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3楼2019-02-03 09:18:55
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上下表面的结构，个人理解是应该是用CAD制图的。Solidworks也可以。不过电极结构，需要首先设计电极的结构，然后是曝光-显影-刻蚀等工艺。这是对于工程上的量产而言的，高校里面的微结构工艺应该简单很多的。我对你这个图缺乏更多的信息，所以只能根据我的经验提供些参考建议。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2019-02-03 10:45:26
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