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shuxiao0811

金虫 (小有名气)


[交流] 电子束蒸镀Au膜的速率一般是多少?

CVD生长的二硫化钼制作电极,采用电子束蒸镀金膜,设置的速率是0.3埃/s,厚度50nm,但是蒸镀出来的厚度只有20nm,而且做lift-off金膜全掉了!想问一下,电子束蒸镀金的速率一般设为多少比较合适呢?
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091820053

禁言 (职业作家)


shuxiao0811(金币+1): 谢谢参与
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2楼2018-11-09 15:44:31
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一群唱戏的

铁杆木虫 (著名写手)



shuxiao0811(金币+1): 谢谢参与
5楼2018-11-09 15:56:21
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1091781229

铁虫 (初入文坛)



shuxiao0811(金币+1): 谢谢参与
9楼2018-11-09 18:13:43
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萧然18

新虫 (正式写手)



shuxiao0811(金币+1): 谢谢参与
电子束的膜厚仪应该是需要校准的,另外,金应该和你的基底结合力不足才导致掉了,可以在下面先镀一层薄薄的其他金属

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17楼2018-11-15 06:53:22
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youngen3楼
2018-11-09 15:48   回复  
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tzynew4楼
2018-11-09 15:55   回复  
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nono20097楼
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syhorchid8楼
2018-11-09 17:01   回复  
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Biotage11楼
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kingluck12楼
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psylhh14楼
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yanbodr20楼
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