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duanyue

银虫 (小有名气)

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请各位大侠推荐一下： PECVD、RIE尾气的处理方式或相应的处理系统。谢谢！

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1楼 2016-01-29 09:23:36

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duanyue

银虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by feixiaolin at 2016-01-29 15:25:33
http://www.docin.com/p-34897193.html
http://muchong.com/html/201112/3229312.html

如果用德国CS的尾气处理，一般是用什么型号的？

3楼2016-02-01 09:26:15

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feixiaolin

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【答案】应助回帖

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duanyue: 金币+2, 谢谢你，但是你给我推荐不够明确，还有含氟气体不知道怎么处理。 2016-02-01 09:24:23

http://www.docin.com/p-34897193.html
http://muchong.com/html/201112/3229312.html

2楼2016-01-29 15:25:33

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