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duanyue银虫 (小有名气)
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[求助]
PECVD与 RIE 尾气处理设备 已有1人参与
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| 请各位大侠推荐一下： PECVD、RIE尾气的处理方式或相应的处理系统。谢谢！ |
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feixiaolin
荣誉版主 (文坛精英)
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
duanyue: 金币+2, 谢谢你，但是你给我推荐不够明确，还有含氟气体不知道怎么处理。 2016-02-01 09:24:23
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2楼2016-01-29 15:25:33
duanyue
银虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-02-01 09:26:15
