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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 铬靶直流溅射溅射有问题
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1016660203

木虫 (初入文坛)

[求助] 铬靶直流溅射溅射有问题

买来的铬靶刚开始溅射不了，放不了电，后来打磨过，放了一次，但后来又放不了了，设备没问题，距离也调过，请问是什么原因吗？

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1楼 2015-12-21 11:44:13
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1016660203

木虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-21 16:29:18
如果条件允许，换一块别的靶材试试。排除一下是设备问题还是靶材问题。

找出问题了，是是靶材有点厚导致阴极和阳极离的很近

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3楼2015-12-22 08:52:41
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
1016660203: 金币+10, ★有帮助 2015-12-22 09:18:14
如果条件允许，换一块别的靶材试试。排除一下是设备问题还是靶材问题。

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1016660203
2楼2015-12-21 16:29:18
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