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1016660203

木虫 (初入文坛)

[求助] 铬靶直流溅射溅射有问题

买来的铬靶刚开始溅射不了,放不了电,后来打磨过,放了一次,但后来又放不了了,设备没问题,距离也调过,请问是什么原因吗?

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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
1016660203: 金币+10, 有帮助 2015-12-22 09:18:14
如果条件允许,换一块别的靶材试试。排除一下是设备问题还是靶材问题。

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2015-12-21 16:29:18
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1016660203

木虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-21 16:29:18
如果条件允许,换一块别的靶材试试。排除一下是设备问题还是靶材问题。

找出问题了,是是靶材有点厚导致阴极和阳极离的很近

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3楼2015-12-22 08:52:41
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