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sxchcgg872铜虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射制备的氧化钇薄膜热处理出现裂纹已有2人参与
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各位老师，您们好！我通过磁控溅射制备了50um厚的氧化钇薄膜，基底为氧化铝，制备后SEM发现200倍下薄膜表面和截面无裂纹，然后我将样品放到马弗炉中热处理，炉子不抽真空，不通气氛，关闭炉体，开始加热，升温速度和降温速度均是1度每分钟，在1100度保温1小时然后开始降温至室温，取出来后SEM发现薄膜表面出现了裂纹，希望您能指导下如何避免裂纹的出现？谢谢您！ 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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