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yinuolixuan

金虫 (小有名气)

[求助] 请教ZnO阻变器件的电极问题

小硕一个,现 研究ZnO的阻变现象,但是怎么做都做不出来。请教各位原因。
先介绍我的思虑
1. 器件的结构是Cu/ZnO/ITO玻璃
2. 然后ZnO是用磁控溅射长的,没有热处理工艺,100nm;
3. Cu也是用溅射方法做的电极,直径3mm;
目前原因是高低阻态阻值比最大只有10倍,而且循环只有20次,最重要的是回不到高阻态了,一级一级变化。(见图片)
想知道上述三个步骤中的错误之处,而且关键是如何做出只有两个态(高阻态和低阻态)的结构,需要对器件做哪些处理呢?

请教ZnO阻变器件的电极问题
Cu_ZnO_ITO_10_O2_150nm_b.jpg
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