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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 直流磁控溅射制备金属薄膜，薄膜中氧含量较高
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small421

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射制备金属薄膜，薄膜中氧含量较高 已有2人参与

采用直流磁控溅射制备金属薄膜，直径30mm的小靶，制备的薄膜中一直含有氧，氧含量大于20at%。设备极限真空可以10-6Pa，Ar气也是5个9的高纯Ar气。由于设备限制，沉积前Si片为溅射清洗，但先在上面镀了几十nm的金层，之后再镀膜的。求各位大神赐教，谢谢！
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1楼 2015-11-18 08:37:13
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ds亚特兰蒂斯

新虫 (初入文坛)
制备之前预溅射时间长一点

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15楼2016-01-31 13:22:36
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small421

新虫 (初入文坛)
帖子不要沉哈，自己顶一个！
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2楼2015-11-18 08:50:34
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muxiao-chong

木虫 (正式写手)

炉火纯青
样品怎么保存的

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热热热
3楼2015-11-18 08:53:23
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主如何确定样品含O量在20at.%左右？
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4楼2015-11-18 10:45:05
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