| 查看: 1066 | 回复: 3 | |||
新手已上路木虫 (职业作家)
|
[交流]
台积电晶圆良率提升的秘密武器──纳米微粒监控系统 已有2人参与
|
|
在半导体湿式制程中，晶圆表面的清洗、蚀刻与研磨皆需仰赖特定化学溶液进行，而溶液中纳米粒子的尺寸与分布会影响晶圆电路图案（pattern）的制程结果，必须持续监控溶液中粒子的大小及数量，只要发现溶液粒子不符规格，就必须马上暂停及更换，才能维持产品良率。 台积电晶圆良率提升的秘密武器──纳米微粒监控系统过去监测溶液中粒子的技术是激光光学设备，但是激光光学设备有局限，“看不到化学溶液中 40 纳米以下的微粒”，当半导体制程日趋微缩，甚至进入 10 纳米制程时候，半导体业者必须寻找能看到更小微粒的监控技术。 这个技术瓶颈，就连晶圆代工龙头台积电都必须对外求援，最后找到了同在新竹的工研院，以“新世代溶液中纳米微粒监控系统”技术，让这制程瓶颈有突破的可能。 传统的溶液监测方式不但监测不到化学溶液中 40 纳米以下的微粒，还会发生将气泡误判为微粒，影响混合信号的问题，但工研院的“新世代溶液中纳米微粒监控系统”技术采用“气胶粒子量测技术”，将化学溶液气雾化后进行气体粒子的量测，除了能量测小到 3 纳米的微粒外，也没有误判气泡的问题。 “新世代溶液中纳米微粒监控系统”，将化学溶液气雾化后，搭配微分电移动度仪和凝结粒子技术器，来量测化学溶液中的粒子粒径及分布，此种创新量测手法突破现行设备仅能侦测 40 纳米以上粒子的极限，一举将可量测粒子尺寸范围拉大为 3～1,000 纳米，可望解决半导体制程持续微缩所面临的难题之一。 除了运用于半导体制程外，此技术也能用于其他光电制造或生物制药等产业。 |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有203人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2015-11-13 16:44:47
wangbingwei
木虫 (正式写手)
登山者
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 3472.1
- 散金: 401
- 帖子: 492
- 在线: 177.2小时
- 虫号: 895994
- 注册: 2009-11-07
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2015-11-14 09:47:46
新手已上路
木虫 (职业作家)
- 应助: 82 (初中生)
- 金币: 4153.3
- 红花: 422
- 帖子: 4933
- 在线: 616.2小时
- 虫号: 3474904
- 注册: 2014-10-14
- 性别: GG
- 专业: 元素化学
4楼2015-11-14 10:21:33
