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SU8胶光刻后通道尺度变大了，求解已有2人参与
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我将圆形硅片上旋涂了SU8胶，覆盖菲林掩膜在光刻机上进行光刻，刻出来的通道结构平滑，但是通道尺寸却变大了，有哪位虫友知道原因的，真心求解 掩膜中的对应结构尺寸分别位550微米和280微米，光刻到掩膜上变成了607微米和343微米  捕获.JPG  1.JPG |
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zhanjiang
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dorrnm
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工工工龚4楼2015-11-13 08:47:49
zhanjiang
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