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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 交叉学科 » 我国首个ZnO纳米棒场效应晶体管研制成功！！！
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buffalo7239

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 我国首个ZnO纳米棒场效应晶体管研制成功！！！

近日，中科院微电子所依靠独立开发的全新技术，成功研制出国内首个ZnO纳米棒场效应晶体管。

ZnO是一种新型宽禁带多功能半导体材料。ZnO纳米材料(纳米线、纳米棒、纳米带、纳米环等等)具有较常规体材料更为优越的性能，在传感、光、电等诸多领域有着广阔的应用前景，引起了国际学术界的极大关注。目前，国内的研究集中在材料生长和二极管器件制备方面。

中科院微电子所张海英研究员领导的课题组，使用中国科技大学提供的材料，独立开发出一套全新的“由下至上”的纳米器件设计和制备方法，采用常规的接触式光学光刻技术，以ZnO纳米棒作为沟道，与栅氧、背面栅金属形成金属—氧化物—半导体结构的场效应晶体管，获得了满意的器件测试结果，标志着国内首个背栅ZnO纳米棒场效应晶体管的研制成功，填补了国内在该领域的空白。

场效应晶体管研制的成功为新型纳米器件及其应用开辟了全新的研究领域，课题组将继续深入合作，协助材料生长方制备出直径更细的纳米线，进一步完善器件工艺，提高器件性能，为实用化解决关键技术问题。
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1楼 2008-09-13 14:14:05
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bcheng1

铜虫 (正式写手)
国外人都做的差不多了
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2楼2008-09-21 23:28:36
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xfsilent

银虫 (正式写手)
我也做的ZnO,虽然国外做的比较好,但是我们正在追啊
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天道酬勤
3楼2008-09-22 10:18:45
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zfxch

银虫 (著名写手)
氧化锌是个好东东啊！;
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新的起点、新的征程！
4楼2008-09-23 09:28:03
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xiaolu9898

木虫 (正式写手)

资深泡菜
有兴趣的注意看一下Adv.mater 2008,20,1-6的一片德国人文章，ZnO不是想象中的那么好了，王中林的一些思路已经被质疑了。

[ Last edited by xiaolu9898 on 2008-9-23 at 15:21 ]
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5楼2008-09-23 15:14:23
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xiaolu9898

木虫 (正式写手)

资深泡菜
此文的文章
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6楼2008-09-23 15:22:33
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beiniao

金虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
谁知道Al离子对ZnO陶瓷的影响
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快乐每一天
7楼2009-06-08 21:56:04
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Advcao

铁杆木虫 (小有名气)
慎用“首个”
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8楼2009-06-09 08:29:43
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