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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片酸腐蚀的形貌 已有1人参与

硅片酸腐蚀的形貌的文献谁有吗,听说有球坑形的形貌,谁知道腐蚀液的比例吗?
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屠呦呦

铜虫 (小有名气)

硅片与酸反应非常慢,有电酸刻蚀,或者有贵金属颗粒作为催化剂才有明显效果。碱刻蚀也快。

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2楼2015-11-04 22:35:11
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 屠呦呦 at 2015-11-04 22:35:11
硅片与酸反应非常慢,有电酸刻蚀,或者有贵金属颗粒作为催化剂才有明显效果。碱刻蚀也快。

不是有HF和HNO3腐蚀的方法吗?慢一点无所谓,我是要相关形貌就行。
3楼2015-11-05 10:40:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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3楼: Originally posted by 暴风鸭 at 2015-11-05 10:40:45
不是有HF和HNO3腐蚀的方法吗?慢一点无所谓,我是要相关形貌就行。...

可以考虑先各向异性腐蚀,做出金字塔尖,然后再各向同性,形成圆。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4楼2015-11-05 12:40:09
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-05 12:40:09
可以考虑先各向异性腐蚀,做出金字塔尖,然后再各向同性,形成圆。...

你这想法颇具创意啊,不过恐怕很难实施,各向同性更可能会把金字塔抚平吧?

发自小木虫Android客户端
5楼2015-11-05 13:00:50
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