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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片酸腐蚀的形貌
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片酸腐蚀的形貌 已有1人参与

硅片酸腐蚀的形貌的文献谁有吗，听说有球坑形的形貌，谁知道腐蚀液的比例吗？
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1楼 2015-11-04 22:19:58
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屠呦呦

铜虫 (小有名气)
硅片与酸反应非常慢，有电酸刻蚀，或者有贵金属颗粒作为催化剂才有明显效果。碱刻蚀也快。

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2楼2015-11-04 22:35:11
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 屠呦呦 at 2015-11-04 22:35:11
硅片与酸反应非常慢，有电酸刻蚀，或者有贵金属颗粒作为催化剂才有明显效果。碱刻蚀也快。

不是有HF和HNO3腐蚀的方法吗？慢一点无所谓，我是要相关形貌就行。
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3楼2015-11-05 10:40:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 暴风鸭 at 2015-11-05 10:40:45
不是有HF和HNO3腐蚀的方法吗？慢一点无所谓，我是要相关形貌就行。...

可以考虑先各向异性腐蚀，做出金字塔尖，然后再各向同性，形成圆。
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暴风鸭
4楼2015-11-05 12:40:09
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-05 12:40:09
可以考虑先各向异性腐蚀，做出金字塔尖，然后再各向同性，形成圆。...

你这想法颇具创意啊，不过恐怕很难实施，各向同性更可能会把金字塔抚平吧？

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5楼2015-11-05 13:00:50
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