| 查看: 760 | 回复: 1 | ||
[求助]
使用射频磁控溅射方法在Ar+N2氛围下溅射La2O3靶，最后通过XPS没有检测到N峰。已有1人参与
|
| 如标题所示，想要溅射获得LaOxNy层，所以在Ar：N2=24：12的氛围下射频溅射的La2O3靶，可最后通过xps分析的时候却没有溅射到N峰，La峰很明显，膜肯定是镀上去了的~求大神们指点 |
回复此楼
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145683
- 红花: 1374
- 帖子: 93066
- 在线: 7693.7小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2015-11-03 19:39:36