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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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忘却の记忆

新虫 (小有名气)

[求助] 使用射频磁控溅射方法在Ar+N2氛围下溅射La2O3靶,最后通过XPS没有检测到N峰。 已有1人参与

如标题所示,想要溅射获得LaOxNy层,所以在Ar:N2=24:12的氛围下射频溅射的La2O3靶,可最后通过xps分析的时候却没有溅射到N峰,La峰很明显,膜肯定是镀上去了的~求大神们指点
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不就说明楼主的本意是要进行反应性溅射镀膜的,但最后金属颗粒在飞行过程中并未和氮气发生反应,导致薄膜中缺氮原子。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-11-03 19:39:36
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