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missyou739

铜虫 (小有名气)

[求助] 怎么用SRIM图做出注入浓度对注入深度的关系图

这两天用SRIM模拟软件做了一下离子注入能量和注入剂量对注入层深度关系的研究。发现注入能量对注入深度的影响挺大，但是注入剂量对注入深度的影响极小，不同剂量的离子在靶材中的分布几乎没啥区别，所以很困惑。具体是这么做的，在设置总的注入离子量的时候，小剂量的输入了2000，另一个注入量是这个的3.5倍，因此输入了7000。这样做不知道对不对？望高手答疑。谢谢。
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@yuxiaoinbuaa

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1楼 2015-10-01 15:53:22
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18363123153

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2016-11-23 19:07:06
是这样，这个问题可以看一下SRIM软件中的中文教程，这个问题会有专门说明。

教程说的不太明白，没有看到注入剂量是从哪里输入或者是什么影响了注入剂量，看了您好多解释，最后也没有理解注入剂量的计算方法。大部分是DPA会受到注量影响，但是注量在呢呢么算或者怎么得到没有说，可以的话，请您在您的原贴详细详细解释一下，谢谢了。
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6楼2018-07-04 13:02:57
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)
蒙特卡罗用的是统计性算法，计算最后的结果是一个离子的行为，只不过参与计算的离子越多，统计精度越好。
从SRIM的角度来讲，由于算法的因素，只要离子能量差不多，五千个和七千个计算结果差别不大。

发自小木虫Android客户端
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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
2楼2015-10-01 16:55:03
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霸王虫

铁虫 (小有名气)
同学您好，我也有相似的困惑，不知道您已找到答案没有，可不可以分享一下
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3楼2016-04-25 11:48:35
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枫菱泪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2015-10-01 16:55:03
蒙特卡罗用的是统计性算法，计算最后的结果是一个离子的行为，只不过参与计算的离子越多，统计精度越好。
从SRIM的角度来讲，由于算法的因素，只要离子能量差不多，五千个和七千个计算结果差别不大。
...

你好，我想问下，研究注入剂量对分布的影响，是靠设置注入的离子数吗？
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4楼2016-11-23 17:08:22
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