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怎么用SRIM图做出注入浓度对注入深度的关系图
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| 这两天用SRIM模拟软件做了一下离子注入能量和注入剂量对注入层深度关系的研究。发现注入能量对注入深度的影响挺大，但是注入剂量对注入深度的影响极小，不同剂量的离子在靶材中的分布几乎没啥区别，所以很困惑。具体是这么做的，在设置总的注入离子量的时候，小剂量的输入了2000，另一个注入量是这个的3.5倍，因此输入了7000。这样做不知道对不对？望高手答疑。谢谢。 |
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10楼2020-04-29 16:44:49
yuxiaoinbuaa
至尊木虫 (职业作家)
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蒙特卡罗用的是统计性算法，计算最后的结果是一个离子的行为，只不过参与计算的离子越多，统计精度越好。 从SRIM的角度来讲，由于算法的因素，只要离子能量差不多，五千个和七千个计算结果差别不大。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-10-01 16:55:03
3楼2016-04-25 11:48:35
4楼2016-11-23 17:08:22
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