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斐索干涉仪求助 已有2人参与
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我最近参考《基于斐索干涉仪的数字波面干涉技术研究》这篇论文，想模仿论文里面的内容达到论文的效果，来检测表面的平面度。 论文链接在此：http://www.doc88.com/p-49035199052.html 长话短说吧，原理图在此  实验原理很简单，就是激光（我这里用He-Ne激光器）扩束准直后，经过标准件平面平晶后，到达待测表面。从平晶下表面（标准平面）反射的光与被测表面反射的光会发生干涉，从而会得到干涉条纹。 现在我得到的条纹是这样的，图中条纹间距较粗的等倾干涉条纹是我想要的条纹，但是可以看到图像质量很差。  现在的问题是实验中出现的干涉种类比较多，平晶和被测物体一共有四个面，它们四个面都有可能发生干涉 （1）平晶两面发生干涉 图中密密麻麻的斜纹就是平晶两个面干涉的条纹，此干涉对于图像质量影响很大。我认为是平晶两个面的楔角较小，激光扩束准之后两光斑会发生重合，从而发生干涉。但是论文中并未提及平面平晶的两个面之间楔角的参数，而我在市面上搜平面平晶，也未对楔角进行说明。这是我现在很疑惑的地方。  13123.PNG （2）被测物体两个面发生干涉 由于我选用的被测物体可能两个面平行度较好，此干涉条纹条纹间距很大，图中看起来并不明显。论文中是利用给被测物体底部涂油的方法来减少影响的。减少这种干涉应该问题不大。 其他问题说明: （1）图中红色圈标注的环状条纹为透镜上灰尘发生衍射的图样，此影响因素较好消除。  45634.PNG （2）仔细看，发现干涉图中心也有类似（1）的圆环，但是圆心为干涉图中心，这种现象也是灰尘引发的衍射吗？还是激光扩束准直的问题？我扩束准直用的是最简单的方案，f=4.5mm、f=225mm凸透镜进行组合，得到光斑直径大约为35mm的光斑。 各位虫友大神求助啊~！小弟渣渣一个，求各位大神指指路！！！！！！！ |
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