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铁蛋白作催化剂PECVD法生长单壁碳管已有1人参与
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最近一直在用铁蛋白作催化剂PECVD高温生长，气体是甲烷、氢气和氩气，大概流程如下： 1、对硅片上二氧化硅进行亲水处理 2、硅片浸泡在铁蛋白溶液中 3、高温生长（750），等离子体150W，气体流量大概是甲烷15，氩气5 发现生长出来的碳管（估计都不是单壁的）很乱，分布很不均匀，不像文献中一样长直。。 求助各位前辈大神该如何改进。。 |
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wulishi8
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2楼2015-09-23 16:20:48