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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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织知

铜虫 (小有名气)


[交流] 表面氧气等离子体刻蚀处理 可以提高光刻胶的粘附性吗

在spin coating之前通常会进行氧气等离子刻蚀的处理 在去除杂质的时候 也会使硅片表面暴露更多的羧基 请问一下这些羧基会有利于光刻胶的粘附吗
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石银东

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by 天国之王 at 2015-10-20 21:41:19
你好:
    表面氧气等离子体刻蚀处理,对于不是硅基底的起作用吗?比如说PI胶带!!...

可以的,会有效果,不知道你是想要通过这个方法达到什么效果,也可以给我寄点样品,处理下看看。

发自小木虫IOS客户端
25楼2015-10-20 23:41:47
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2015-08-01 01:50   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
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