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织知

铜虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 89.3
帖子: 57
在线: 27.1小时
虫号: 1348129

[交流] 表面氧气等离子体刻蚀处理可以提高光刻胶的粘附性吗

在spin coating之前通常会进行氧气等离子刻蚀的处理在去除杂质的时候也会使硅片表面暴露更多的羧基请问一下这些羧基会有利于光刻胶的粘附吗

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1楼 2015-08-01 00:34:54

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

石银东

木虫 (正式写手)

应助: 139 (高中生)
金币: 6411.1
帖子: 927
在线: 909.6小时
虫号: 3564733

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

24楼: Originally posted by 天国之王 at 2015-10-20 21:41:19
你好：
表面氧气等离子体刻蚀处理，对于不是硅基底的起作用吗？比如说PI胶带！！

...

可以的，会有效果，不知道你是想要通过这个方法达到什么效果，也可以给我寄点样品，处理下看看。

发自小木虫IOS客户端

25楼2015-10-20 23:41:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 25 个回答

简单回复

zhchzhsh20767楼

2015-08-01 01:50 回复

织知(金币+1): 谢谢参与

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