应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 表面氧气等离子体刻蚀处理 可以提高光刻胶的粘附性吗
251/1返回列表
查看: 1825  |  回复: 24
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

织知

铜虫 (小有名气)

[交流] 表面氧气等离子体刻蚀处理 可以提高光刻胶的粘附性吗

在spin coating之前通常会进行氧气等离子刻蚀的处理 在去除杂质的时候 也会使硅片表面暴露更多的羧基 请问一下这些羧基会有利于光刻胶的粘附吗
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2015-08-01 00:34:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

石银东

木虫 (正式写手)
★
织知(金币+1): 谢谢参与
用纯氧作为气源，进行等离子表面处理，可以达到刻蚀的目的，同时会附带其它的功能，比如让硅片的表面暴露更多的羧基，是有利于后序光刻胶的粘接，这一点是肯定的。

但是有个缺点，你要注意，那就是这种在硅片表面的羧基是不稳定的，时效性非常短，一般来讲也就是十几分钟到半小时的时效性，感兴趣可以留下您的扣扣，交流下。
赞一下(3人) 回复此楼
23楼2015-08-01 08:55:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeryharvey

银虫 (正式写手)
★
织知(金币+1): 谢谢参与
co ask
回复此楼
10楼2015-08-01 04:15:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天国之王

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
23楼: Originally posted by 石银东 at 2015-08-01 08:55:20
用纯氧作为气源，进行等离子表面处理，可以达到刻蚀的目的，同时会附带其它的功能，比如让硅片的表面暴露更多的羧基，是有利于后序光刻胶的粘接，这一点是肯定的。

但是有个缺点，你要注意，那就是这种在硅片表面 ...

你好：
    表面氧气等离子体刻蚀处理，对于不是硅基底的起作用吗？比如说PI胶带！！
赞一下 回复此楼
24楼2015-10-20 21:41:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石银东

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by 天国之王 at 2015-10-20 21:41:19
你好：
    表面氧气等离子体刻蚀处理，对于不是硅基底的起作用吗？比如说PI胶带！！...

可以的，会有效果，不知道你是想要通过这个方法达到什么效果，也可以给我寄点样品，处理下看看。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
25楼2015-10-20 23:41:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
syhorchid2楼
2015-08-01 00:35   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
syhorchid3楼
2015-08-01 00:35   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
youngen4楼
2015-08-01 01:33   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
youngen5楼
2015-08-01 01:33   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
zhchzhsh20766楼
2015-08-01 01:50   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
zhchzhsh20767楼
2015-08-01 01:50   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
dmbb8楼
2015-08-01 02:15   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
guanlianwu9楼
2015-08-01 03:53   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
tbs2011楼
2015-08-01 05:25   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
tbs2012楼
2015-08-01 05:27   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
jixiangbao13楼
2015-08-01 05:39   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
jixiangbao14楼
2015-08-01 05:39   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
shenrenren15楼
2015-08-01 06:17   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
假大空16楼
2015-08-01 07:19   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
心萦星魂17楼
2015-08-01 08:03   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
jiantu18楼
2015-08-01 08:03   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
心萦星魂19楼
2015-08-01 08:03   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
xhmaohan20楼
2015-08-01 08:05   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
心萦星魂21楼
2015-08-01 08:07   回复  
心萦星魂22楼
2015-08-01 08:07   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 织知 的主题更新
251/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭