应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8 2075 光刻出了大问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
151/2返回列表12下一页
查看: 3514  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wellsalon

新虫 (初入文坛)

[交流] SU8 2075 光刻出了大问题

各位大神：

我们实验室用su8-2075做光刻实验，做了几次总不成功，
也是刚学着做光刻，没啥经验
首先，感觉su8-2075，总是涂不匀，不知甩胶有啥技巧?
          看su8胶说明书，有edge bead removal (EBR)去边环节，我们没有去边机，我们还是接触式曝光机，不知这个厚边有没影响？
第二，匀胶完，总有气泡，头疼不已，
第三，光刻完，显影结束，发现严重交联（微结构边缘和微结构间有白色膜去不掉)！！还发先图像变形（如齿轮图）！！
第四，显微镜下发现，零件边缘有裂纹，也不知何原因！！
各位帮忙看看问题出在那？谢谢
工艺过程：想得到200μm的厚度，匀胶转速500r/min,5s；1250r/min,30s，前烘后烘时间都按说明的来，曝光时间40s，显影17min

希望各位赐教：）

SU8 2075 光刻出了大问题
2.2.jpg


SU8 2075 光刻出了大问题-1
3.4 (4).jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-07-30 17:45:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

东方之殿free

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
匀胶也是很重要的一个过程，有气泡的话可能是滴胶时胶中带有气泡或者喷嘴尖端切口有问题或带刺，可以检查下。另外，旋涂后可以测下胶的膜厚及均匀性，看下数据怎么样
赞一下(1人) 回复此楼
有志者，事竟成
9楼2015-07-31 15:10:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

15810770295

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
曝光时间过短，显影时间过长导致胶连。
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2015-10-22 10:06:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

dmbb
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
2楼2015-07-30 17:57:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gltsycw
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
3楼2015-07-30 17:58:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

核桃芝麻
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
4楼2015-07-30 18:17:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
楼主的各项参数应该自己是要确认一下，不能完全按照data sheet来

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
5楼2015-07-30 18:31:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wellsalon

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by vincentwz at 2015-07-30 18:31:31
楼主的各项参数应该自己是要确认一下，不能完全按照data sheet来

您说的对，可是，需要基本判断问题的原因，有针对性的改动参数才好吧，没方向，不知道，那个参数不合适啊。
希望，大神多指点指点
赞一下 回复此楼
6楼2015-07-30 18:36:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

假大空
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
7楼2015-07-30 18:40:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shenrenren
8楼2015-07-30 18:41:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wellsalon

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 东方之殿free at 2015-07-31 15:10:09
匀胶也是很重要的一个过程，有气泡的话可能是滴胶时胶中带有气泡或者喷嘴尖端切口有问题或带刺，可以检查下。另外，旋涂后可以测下胶的膜厚及均匀性，看下数据怎么样

谢谢，如果不匀，是不是会造成曝光图像的失真呢？
赞一下 回复此楼
10楼2015-07-31 15:42:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wellsalon 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 352分 化工与材料 +5 海纳百川Ly 2026-03-27 5/250 2026-03-28 03:39 by fmesaito
[考研] 材料求调剂一志愿哈工大324 +5 闫旭东 2026-03-28 6/300 2026-03-28 03:30 by fmesaito
[考研] 320分，材料与化工专业，求调剂 +5 一定上岸aaa 2026-03-27 7/350 2026-03-27 22:21 by 一定上岸aaa
[考研] 化学调剂 +4 爱吃番茄的旭 2026-03-24 5/250 2026-03-27 17:50 by kiokin
[考研] 求调剂推荐 材料 304 +14 荷包蛋hyj 2026-03-26 14/700 2026-03-27 17:49 by kiokin
[考研] 322求调剂 +4 我真的很想学习 2026-03-23 4/200 2026-03-27 13:51 by 杨杨杨紫
[考研] 材料学硕，求调剂 6+5 糖葫芦888ll 2026-03-22 10/500 2026-03-27 08:18 by hypershenger
[考研] 329求调剂 +5 1() 2026-03-22 5/250 2026-03-26 20:40 by fmesaito
[考研] 【双一流院校新能源、环境材料，材料加工与模拟招收大量调剂】 +4 Higraduate 2026-03-22 8/400 2026-03-26 20:34 by Higraduate
[考研] 086000生物与医药292求调剂 +6 小小陈小小 2026-03-22 9/450 2026-03-26 15:58 by dick_runner
[考研] 材料科学与工程 317求调剂 +4 JKSOIID 2026-03-26 4/200 2026-03-26 15:58 by 不吃魚的貓
[考研] 081700 调剂 267分 +11 迷人的哈哈 2026-03-23 11/550 2026-03-26 15:41 by zzll406
[考研] 寻找调剂 +5 倔强芒? 2026-03-21 8/400 2026-03-26 13:25 by 0906ljy
[考研] 318求调剂 +5 plum李子 2026-03-21 8/400 2026-03-25 09:26 by aa331100
[考研] 生物学学硕求调剂 +7 小羊睡着了? 2026-03-23 10/500 2026-03-25 02:24 by 清风拂扬。 m
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-24 3/150 2026-03-24 21:31 by peike
[考研] 300分，材料，求调剂，英一数二 +5 超赞的 2026-03-24 5/250 2026-03-24 21:07 by 星空星月
[考研] 284求调剂 +3 yanzhixue111 2026-03-23 6/300 2026-03-23 22:58 by pswait
[考研] 求调剂一志愿海大，0703化学学硕304分，有大创项目，四级已过 +6 幸运哩哩 2026-03-22 10/500 2026-03-22 20:10 by edmund7
[考研] 生物学调剂 +5 Surekei 2026-03-21 5/250 2026-03-22 14:39 by tcx007
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭