| 查看: 3517 | 回复: 14 | |||
[交流]
SU8 2075 光刻出了大问题
|
|||
|
各位大神： 我们实验室用su8-2075做光刻实验，做了几次总不成功， 也是刚学着做光刻，没啥经验 首先，感觉su8-2075，总是涂不匀，不知甩胶有啥技巧? 看su8胶说明书，有edge bead removal (EBR)去边环节，我们没有去边机，我们还是接触式曝光机，不知这个厚边有没影响？ 第二，匀胶完，总有气泡，头疼不已， 第三，光刻完，显影结束，发现严重交联（微结构边缘和微结构间有白色膜去不掉)！！还发先图像变形（如齿轮图）！！ 第四，显微镜下发现，零件边缘有裂纹，也不知何原因！！ 各位帮忙看看问题出在那？谢谢 工艺过程：想得到200μm的厚度，匀胶转速500r/min,5s；1250r/min,30s，前烘后烘时间都按说明的来，曝光时间40s，显影17min 希望各位赐教：）  2.2.jpg  3.4 (4).jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有242人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
9楼2015-07-31 15:10:09
14楼2015-10-22 10:06:05
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
 |
2楼2015-07-30 17:57:11
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
|
|
3楼2015-07-30 17:58:19
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
|
|
4楼2015-07-30 18:17:37
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14720.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
5楼2015-07-30 18:31:31
6楼2015-07-30 18:36:17
★
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
wellsalon(金币+1): 谢谢参与
|
|
7楼2015-07-30 18:40:50
|
|
8楼2015-07-30 18:41:36
10楼2015-07-31 15:42:13
