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请教关于微电子工艺中离子注入方面的问题，各位有经验的前辈帮帮忙~~~ 已有1人参与
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请问各位做微电子工艺的大神，在进行离子注入的时候，一般可以实现注入哪些元素？ 另外，可以采用哪些掩膜材料作为保护层，例如Si3N4之类的。 谢谢大家！！！  |
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dorrnm
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3楼2015-11-06 16:42:38
dorrnm
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2楼2015-11-06 16:32:09
