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andysunm

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 在对硅中杂质元素进行测试时,硼和磷是否可以同时溶样测试,有无相关文献支持?

在对硅中杂质元素进行测试时,硼和磷是否可以同时溶样测试,有无相关文献支持?
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

看硅的纯度了,如果是6个9以下,ICP、ICP-MS可以测,6个9以上要磁质谱(GDMS,甚至是SIMS),或者是低温荧光、红外、霍尔。
是金子总会发光!!!
3楼2015-07-14 11:03:03
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

可以。
参见:
电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定纯硅中硼等13个杂质元素
http://wenku.baidu.com/link?url= ... owUspkVKg_SHS4-IdTy
没有困难创造困难也要上网。
2楼2015-07-14 10:43:37
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