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铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 在对硅中杂质元素进行测试时，硼和磷是否可以同时溶样测试，有无相关文献支持？

在对硅中杂质元素进行测试时，硼和磷是否可以同时溶样测试，有无相关文献支持？

相信未来更美好

1楼 2015-07-14 08:27:24

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铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

看硅的纯度了，如果是6个9以下，ICP、ICP-MS可以测，6个9以上要磁质谱（GDMS，甚至是SIMS），或者是低温荧光、红外、霍尔。

是金子总会发光！！！

3楼2015-07-14 11:03:03

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版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

可以。
参见：
电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定纯硅中硼等13个杂质元素
http://wenku.baidu.com/link?url= ... owUspkVKg_SHS4-IdTy

没有困难创造困难也要上网。

2楼2015-07-14 10:43:37

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