[求助] 射频磁控溅射金属Mo，反射功率不稳定，往复跳动 已有1人参与

射频磁控溅射金属Mo，反射功率不稳定，往复跳动，工作电流也同步往复跳动，电压基本稳定，肿么回事呢

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薄膜制备与特性

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