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蓝宝石上面EBL的问题
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yyk羊肉串
铜虫
(正式写手)
应助: 3
(幼儿园)
金币: 395.5
红花: 2
帖子: 636
在线: 78.6小时
虫号: 2737527
注册: 2013-10-19
性别: GG
专业: 半导体电子器件
[
求助
]
蓝宝石上面EBL的问题
已有1人参与
本人是EBL小白,现在想在蓝宝石上面用EBL生成图形,在尝试之后发现荷电效应非常明显,请问哪位大侠做过这方面的尝试的吗?但有经验能交流一下,感激不尽啊
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大家加油
1楼
2015-06-12 14:14:57
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yswyx
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帖子: 2705
在线: 577.8小时
虫号: 446878
注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖:
微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
yyk羊肉串(月牙儿的微笑代发): 金币+5, 感谢参与交流~~
2015-10-03 09:46:52
在光刻胶表面在蒸发或者溅射一层很薄的Al,二三十纳米就行。
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2楼
2015-06-16 13:28:55
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