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chankityi

木虫 (正式写手)

[求助] 关于电子束蒸发生长薄膜 已有2人参与

请问有做过电子束蒸发的同学：本人最近在做电子束蒸发锗的实验，开始时坩埚里放的锗粉，用电子束让它结块后当做料进行蒸发。每次做实验前会往坩埚里添一点新粉料进去。但是发现粉料做出来薄膜重复性特别差。我每次根据晶振器控制薄膜厚度为600nm，衬底温度都是400度。但生长出来光凭衬底盘颜色判断厚度就不一样。开始我怀疑是粉料的问题，所以今天做的时候没有新加粉料(之前的已结块)，想同样生长600nm判断一下是否是料的状态问题。但是实验过程中发现蒸发到一定厚度（200nm）左右，膜厚仪示数就不变了，料蒸不出来了。不知道是什么原因。。。还有直接买来锗块来用会不会实验重复性好点？求各位同学帮助，感激不尽，谢谢！
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1楼 2015-06-09 19:36:17
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三只狗20

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by chankityi at 2015-06-09 19:36:17
请问有做过电子束蒸发的同学：本人最近在做电子束蒸发锗的实验，开始时坩埚里放的锗粉，用电子束让它结块后当做料进行蒸发。每次做实验前会往坩埚里添一点新粉料进去。但是发现粉料做出来薄膜重复性特别差。我每次根 ...

各位大神应该都是用的石英晶振控制检测膜厚的   我们实验室有一台IC/5膜厚控制仪 有哪位会用吗   是不是还需要校准啊

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6楼2018-11-28 11:56:59
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fw_xiao

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chankityi: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-06-10 11:20:05
chankityi: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2015-10-30 10:18:55
1.粉末料飞溅的很厉害，用块料 好很多  
2.蒸发到一定厚度（200nm）左右，膜厚仪示数就不变了，料蒸不出来了     应该是你的晶振片寿命到了，换了就好了
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学习
2楼2015-06-10 08:20:37
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chankityi

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fw_xiao at 2015-06-10 08:20:37
1.粉末料飞溅的很厉害，用块料 好很多  
2.蒸发到一定厚度（200nm）左右，膜厚仪示数就不变了，料蒸不出来了     应该是你的晶振片寿命到了，换了就好了

我怀疑蒸不出来是杂质堆积造成的，你们做实验前对坩埚里的料进行处理吗？比如泡酸或碱？谢谢
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3楼2015-06-10 09:27:41
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fw_xiao

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by chankityi at 2015-06-10 09:27:41
我怀疑蒸不出来是杂质堆积造成的，你们做实验前对坩埚里的料进行处理吗？比如泡酸或碱？谢谢...

厚度不均的问题，是 蒸发源与衬底盘之间的距离太小，距离调大均匀性会好很多

污染 只可能来源于 电子束没有完全打到材料上，也就是说，电子束打在了枪体的金属部位，或坩埚上了，将坩埚或枪体的金属部位金属打出来了
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学习
4楼2015-06-10 10:03:36
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