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chankityi

木虫 (正式写手)

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[求助] 关于电子束蒸发生长薄膜已有2人参与

请问有做过电子束蒸发的同学：本人最近在做电子束蒸发锗的实验，开始时坩埚里放的锗粉，用电子束让它结块后当做料进行蒸发。每次做实验前会往坩埚里添一点新粉料进去。但是发现粉料做出来薄膜重复性特别差。我每次根据晶振器控制薄膜厚度为600nm，衬底温度都是400度。但生长出来光凭衬底盘颜色判断厚度就不一样。开始我怀疑是粉料的问题，所以今天做的时候没有新加粉料(之前的已结块)，想同样生长600nm判断一下是否是料的状态问题。但是实验过程中发现蒸发到一定厚度（200nm）左右，膜厚仪示数就不变了，料蒸不出来了。不知道是什么原因。。。还有直接买来锗块来用会不会实验重复性好点？求各位同学帮助，感激不尽，谢谢！

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1楼 2015-06-09 19:36:17

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三只狗20

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

1楼: Originally posted by chankityi at 2015-06-09 19:36:17
请问有做过电子束蒸发的同学：本人最近在做电子束蒸发锗的实验，开始时坩埚里放的锗粉，用电子束让它结块后当做料进行蒸发。每次做实验前会往坩埚里添一点新粉料进去。但是发现粉料做出来薄膜重复性特别差。我每次根 ...

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