| 查看: 1383 | 回复: 5 | |||
chankityi木虫 (正式写手)
|
[求助]
关于电子束蒸发生长薄膜 已有2人参与
|
| 请问有做过电子束蒸发的同学：本人最近在做电子束蒸发锗的实验，开始时坩埚里放的锗粉，用电子束让它结块后当做料进行蒸发。每次做实验前会往坩埚里添一点新粉料进去。但是发现粉料做出来薄膜重复性特别差。我每次根据晶振器控制薄膜厚度为600nm，衬底温度都是400度。但生长出来光凭衬底盘颜色判断厚度就不一样。开始我怀疑是粉料的问题，所以今天做的时候没有新加粉料(之前的已结块)，想同样生长600nm判断一下是否是料的状态问题。但是实验过程中发现蒸发到一定厚度（200nm）左右，膜厚仪示数就不变了，料蒸不出来了。不知道是什么原因。。。还有直接买来锗块来用会不会实验重复性好点？求各位同学帮助，感激不尽，谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
今天务委会开完了，明天出结果吗
已经有21人回复
-
2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？
已经有14人回复
-
在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。
已经有9人回复
-
明天应该可查了！？
已经有6人回复
-
有没有大神帮我看看基金代码
已经有10人回复
-
放榜前的不淡定
已经有19人回复
-
某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感
已经有10人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有23人回复
-
今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果
已经有22人回复
-
什么时候开奖？
已经有13人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 射频溅射薄膜参数对于薄膜的影响
已经有8人回复
- PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱
已经有12人回复
- 电子束蒸发YIG材料
已经有11人回复
- 薄膜材料的表征方法、薄膜材料的制备、薄膜的生长过程、
已经有96人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 关于分子筛膜的问题
已经有5人回复
- 电子束热蒸发通常沉积金属氧化物
已经有7人回复
- 外延生长薄膜质量问题
已经有3人回复
- 请教大家一个关于PEEK薄膜的问题
已经有3人回复
- 关于聚合物单晶的生长
已经有8人回复
- 请教当衬底与薄膜之间存在失配时，失配应力对薄膜生长有何影响？
已经有7人回复
- 一个关于在蓝宝石上生长GaN的问题
已经有11人回复
- 在单晶和多晶衬底上生长的薄膜晶粒尺寸不一样，为什么？
已经有4人回复
- 关于不同基底制备薄膜的一个问题
已经有3人回复
- 电子束热蒸发问题
已经有3人回复
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
已经有34人回复
fw_xiao
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 12009.1
- 散金: 200
- 红花: 3
- 沙发: 1
- 帖子: 10779
- 在线: 186.7小时
- 虫号: 1279106
- 注册: 2011-04-27
- 性别: GG
- 专业: 物理学I
2楼2015-06-10 08:20:37
chankityi
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 3399.9
- 散金: 3
- 帖子: 363
- 在线: 94.8小时
- 虫号: 2925170
- 注册: 2014-01-10
- 专业: 半导体材料
3楼2015-06-10 09:27:41
fw_xiao
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 12009.1
- 散金: 200
- 红花: 3
- 沙发: 1
- 帖子: 10779
- 在线: 186.7小时
- 虫号: 1279106
- 注册: 2011-04-27
- 性别: GG
- 专业: 物理学I
4楼2015-06-10 10:03:36
huihui2eat
银虫 (小有名气)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 709.3
- 散金: 70
- 帖子: 184
- 在线: 66.2小时
- 虫号: 3318737
- 注册: 2014-07-11
- 专业: 等离子体物理
5楼2015-06-11 09:07:14
6楼2018-11-28 11:56:59
28