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天无语00

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻图形 已有4人参与

各位大神，请教大家一个问题，这两张图是我用5214光刻胶做的光刻图形，图形的边缘特别粗糙不光滑，我是按着图片里那个参数设置的，这个参数是参考的5214的技术文档，哪位好心人能帮我看看问题可能出在哪吗，小弟感激不尽！

光刻图形
IMG_20150601_103137.jpg


光刻图形-1
mmexport1433130201075.jpg
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1楼 2015-06-01 18:06:58
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ben_BY

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

应该是显影的问题
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2楼2015-06-23 10:15:07
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ttlemon77

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
3楼2015-07-06 15:28:10
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

如果不放心，可以延长显影时间，其实这都不是事
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4楼2015-07-07 06:23:52
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xujia728

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

个人感觉，掩模的问题
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5楼2015-07-07 13:08:28
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