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gaokaoheima银虫 (小有名气)
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[求助]
Si上Au电极的制备 已有9人参与
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| 本人用喷金的方法在Si上溅射了一层厚度只有6~7nm的Au，用来做电极（这么薄是因为实验中心只能喷这么厚，喷出来后可以看到表面有一层金属色泽的金），打算形成较好的电极接触。做了几次发现用导电胶贴上后测电学性能效果不好，然后把导电胶撕掉后发现金很容易就脱落了。怀疑电学信号不好的原因是电极接触不好，看了文献和贴吧也知道最好先镀一层Ti或Cr的粘附层，但基于实验平台的限制，不好实现粘附层的制备。现在打算利用退火得到结合较牢固的Au电极接触，不知道可不可行？因为导师说直接用纯Au做电极很难实现较好的欧姆接触，现在考虑还要不要进一步用Au电极做下去，如果退火可以的话，我就不用再找其他电极材料了，望各位大侠详细指点，不甚感激~！ |
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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在Si柱/片上可以用化学镀Au或者蒸镀，得到几十纳米厚的连续岛状金膜，直接用于电催化测试，所以导电性木有问题；粘附性可以通过退火处理来进一步提升，同时趋向一定的晶面趋向；具体可参考以下论文： 1. Miyake H, Ye S, Osawa M. Electroless deposition of gold thin films on silicon for surface-enhanced infrared spectroelectrochemistry[J]. Electrochemistry Communications, 2002, 4(12): 973-977. 2. Sun S G, Cai W B, Wan L J, et al. Infrared absorption enhancement for CO adsorbed on Au films in perchloric acid solutions and effects of surface structure studied by cyclic voltammetry, scanning tunneling microscopy, and surface-enhanced IR spectroscopy[J]. The Journal of Physical Chemistry B, 1999, 103(13): 2460-2466. 3. 阳耀月, 张涵轩, 蔡文斌. 电化学表面增强红外光谱技术进展[J]. 电化学, 2013, 19(001): 6-16. |
23楼2015-05-19 17:37:23
jennyge
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