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gaokaoheima银虫 (小有名气)
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[求助]
Si上Au电极的制备 已有9人参与
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| 本人用喷金的方法在Si上溅射了一层厚度只有6~7nm的Au，用来做电极（这么薄是因为实验中心只能喷这么厚，喷出来后可以看到表面有一层金属色泽的金），打算形成较好的电极接触。做了几次发现用导电胶贴上后测电学性能效果不好，然后把导电胶撕掉后发现金很容易就脱落了。怀疑电学信号不好的原因是电极接触不好，看了文献和贴吧也知道最好先镀一层Ti或Cr的粘附层，但基于实验平台的限制，不好实现粘附层的制备。现在打算利用退火得到结合较牢固的Au电极接触，不知道可不可行？因为导师说直接用纯Au做电极很难实现较好的欧姆接触，现在考虑还要不要进一步用Au电极做下去，如果退火可以的话，我就不用再找其他电极材料了，望各位大侠详细指点，不甚感激~！ |
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gaokaoheima
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15楼2015-05-18 17:37:00
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