| 查看: 3360 | 回复: 27 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
gaokaoheima银虫 (小有名气)
|
[求助]
Si上Au电极的制备 已有9人参与
|
|
| 本人用喷金的方法在Si上溅射了一层厚度只有6~7nm的Au，用来做电极（这么薄是因为实验中心只能喷这么厚，喷出来后可以看到表面有一层金属色泽的金），打算形成较好的电极接触。做了几次发现用导电胶贴上后测电学性能效果不好，然后把导电胶撕掉后发现金很容易就脱落了。怀疑电学信号不好的原因是电极接触不好，看了文献和贴吧也知道最好先镀一层Ti或Cr的粘附层，但基于实验平台的限制，不好实现粘附层的制备。现在打算利用退火得到结合较牢固的Au电极接触，不知道可不可行？因为导师说直接用纯Au做电极很难实现较好的欧姆接触，现在考虑还要不要进一步用Au电极做下去，如果退火可以的话，我就不用再找其他电极材料了，望各位大侠详细指点，不甚感激~！ |
回复此楼
sidalixue
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4115.6
- 散金: 2082
- 红花: 2
- 帖子: 485
- 在线: 71.9小时
- 虫号: 792237
- 注册: 2009-06-11
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
14楼2015-05-18 15:39:59
jennyge
金虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 1111.7
- 散金: 495
- 红花: 13
- 帖子: 2710
- 在线: 305.5小时
- 虫号: 447434
- 注册: 2007-11-01
- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
2楼2015-05-18 10:52:47
gaokaoheima
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 440.8
- 帖子: 112
- 在线: 75.8小时
- 虫号: 1429844
- 注册: 2011-10-07
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-05-18 10:58:10
sidalixue
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4115.6
- 散金: 2082
- 红花: 2
- 帖子: 485
- 在线: 71.9小时
- 虫号: 792237
- 注册: 2009-06-11
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2015-05-18 11:06:13
40