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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

[求助] Si上Au电极的制备 已有9人参与

本人用喷金的方法在Si上溅射了一层厚度只有6~7nm的Au,用来做电极(这么薄是因为实验中心只能喷这么厚,喷出来后可以看到表面有一层金属色泽的金),打算形成较好的电极接触。做了几次发现用导电胶贴上后测电学性能效果不好,然后把导电胶撕掉后发现金很容易就脱落了。怀疑电学信号不好的原因是电极接触不好,看了文献和贴吧也知道最好先镀一层Ti或Cr的粘附层,但基于实验平台的限制,不好实现粘附层的制备。现在打算利用退火得到结合较牢固的Au电极接触,不知道可不可行?因为导师说直接用纯Au做电极很难实现较好的欧姆接触,现在考虑还要不要进一步用Au电极做下去,如果退火可以的话,我就不用再找其他电极材料了,望各位大侠详细指点,不甚感激~!
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sidalixue

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by gaokaoheima at 2015-05-18 13:59:31
我做的是个类似于场效应晶体管的结构,中间有个沟道,如果直接买镀金硅片的话,那个沟道怎么空出来?...

不知道你做的是什么材料
精细结构的话,一般是用光刻的方法做出图案,然后在蒸镀电极,沟道一般可以做到几个微米;
如果沟道的宽度不是很窄的话,可以加工金属镂空掩膜版,把掩膜版附在硅片上在蒸镀电极;不过这种一般只能做到0.1毫米
14楼2015-05-18 15:39:59
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jennyge

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我以前做也是粘附不好,很容易脱落。不知道你用来测什么性能,可不可以买一些现成的电极试试。
家中老幺
2楼2015-05-18 10:52:47
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jennyge at 2015-05-18 10:52:47
我以前做也是粘附不好,很容易脱落。不知道你用来测什么性能,可不可以买一些现成的电极试试。

测I-V曲线,我的结构较特别,类似于场效应晶体管,源极和漏极在两端,中间沟道要进行特殊处理,不太好买
3楼2015-05-18 10:58:10
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sidalixue

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+2 2015-05-18 13:56:03
6-7nm形成不了很好的导电膜,更别说作为电极了,建议连续做个3,4次;另外关于可以先镀2nm的Ti,这样比较牢靠
4楼2015-05-18 11:06:13
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