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xihonghao

银虫 (正式写手)

3楼的兄弟,Pt溅射时,基片需要加热吗?谢谢!
11楼2008-09-06 16:19:20
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li_yw

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by xiemax at 2008-9-6 11:19:
南京55所有卖的,我们实验室买过好几万块钱的了!

能否提供一下对方的联系方式?谢谢!
12楼2008-09-06 17:30:43
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tracynrh

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼的兄弟,Pt溅射时,基片需要加热吗?谢谢!

如果是一般的小型离子溅射仪,那是没法加热的。如果用的是磁控溅射做,那可以加热的。我以前用的是离子溅射仪,所以没加热,只是溅射完了以后,再对基片进行退火处理的。
13楼2008-09-09 13:06:57
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xiemax

铜虫 (小有名气)

回复下

你直接在网上找啊! 我们实验室以前就是在溅射有铂的硅片上面制备取向薄膜的,可以退火到900摄氏度左右, 我问问我师姐就知道联系电话,我现在毕业了,在外面工作,她还和我们老板在一起做科研!等待下我的回复哦!
14楼2008-09-26 08:14:30
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