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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 为什么磁控溅射射频没有自偏压，无法起辉？
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科研_小虫

新虫 (小有名气)

[求助] 为什么磁控溅射射频没有自偏压，无法起辉？ 已有1人参与

磁控溅射时，Pr和Pf均有示数且可调，但自偏压始终没有反应，无法起辉，哪位大神能否告知原因？另外刚换的一瓶氩气只做了两次试验就快用完了，是否为设备漏气？
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1楼 2015-04-19 17:01:45
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科研_小虫

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-21 18:42:02
楼主，不起辉原因有很多。氩气用的快，很有可能是因为氩气瓶和镀膜机之间的充气管路漏气了，要么就是溅射时流量太大

多谢，现在找到原因了
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3楼2015-04-22 11:00:19
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★
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科研_小虫: 金币+1, ★有帮助 2015-04-22 10:58:53
楼主，不起辉原因有很多。氩气用的快，很有可能是因为氩气瓶和镀膜机之间的充气管路漏气了，要么就是溅射时流量太大

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2015-04-21 18:42:02
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