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为什么磁控溅射射频没有自偏压，无法起辉？ 已有1人参与
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| 磁控溅射时，Pr和Pf均有示数且可调，但自偏压始终没有反应，无法起辉，哪位大神能否告知原因？另外刚换的一瓶氩气只做了两次试验就快用完了，是否为设备漏气？ |
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