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科研_小虫

新虫 (小有名气)

[求助] 为什么磁控溅射射频没有自偏压,无法起辉? 已有1人参与

磁控溅射时,Pr和Pf均有示数且可调,但自偏压始终没有反应,无法起辉,哪位大神能否告知原因?另外刚换的一瓶氩气只做了两次试验就快用完了,是否为设备漏气?
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

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科研_小虫: 金币+1, 有帮助 2015-04-22 10:58:53
楼主,不起辉原因有很多。氩气用的快,很有可能是因为氩气瓶和镀膜机之间的充气管路漏气了,要么就是溅射时流量太大

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-04-21 18:42:02
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科研_小虫

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-21 18:42:02
楼主,不起辉原因有很多。氩气用的快,很有可能是因为氩气瓶和镀膜机之间的充气管路漏气了,要么就是溅射时流量太大

多谢,现在找到原因了
3楼2015-04-22 11:00:19
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