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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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VIIIX

银虫 (小有名气)

[求助] 紫外曝光的掩模板怎么清洗 已有1人参与

最近有一台紫外曝光到了,有个掩模板我一看上面好脏,不但有光刻胶在上面,竟然还有指纹,请问如何去除。对板子伤害大么

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chaot

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-04-03 18:03:30
如果是普通的mask,实验室不做任何电性能实验的话,洗涤剂就行。
如果是做电性能相关的实验,要用浓硫酸+双氧水去煮。

你好,请问硫酸和双氧水会把光刻板的图案刻蚀掉吗?

发自小木虫IOS客户端
4楼2023-03-15 10:28:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果是普通的mask,实验室不做任何电性能实验的话,洗涤剂就行。
如果是做电性能相关的实验,要用浓硫酸+双氧水去煮。
2楼2015-04-03 18:03:30
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VIIIX

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-04-03 18:03:30
如果是普通的mask,实验室不做任何电性能实验的话,洗涤剂就行。
如果是做电性能相关的实验,要用浓硫酸+双氧水去煮。

电性能实验是什么?那浓硫酸去煮会不会损伤上面的结构
3楼2015-04-03 18:33:56
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