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EDS线扫描问题 已有3人参与
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| 钢表面有一层氧化物，特别薄，远小于1微米。采用SEM6000倍时EDS线扫，氧化物处的Fe、Cr、O等可能的组成元素都没有峰变化，如果在一万倍时，氧化层被放大了，会不会扫出来就有变化 |
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zhengxp
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建议去做EPMA，因为这个是专业的做成分分析的设备，精度高，成分准确。就如13楼所说的，把扫描步长设置最小。 这里有EPMA的简介，你看看适不适合（分析元素范围：4Be-92U；加速电压：0.2-30kV；二次电子像分辨率：6nm；有效图像观察倍数≤50000′；分析精度：好于1%(主要元素，含量>5%)和5%(次要元素，含量～1%)；电子束流稳定性好，连续可调，样品台最小移动间距为0.01微米，重复精度好于±1mm，机械系统精密度高。） 另外，XRD对于成分均匀的材料有效，如果存在成分偏析或者非均质材料，很难表征的，我曾经用XRD进行过非晶复合材料的表征，因为打点的区域太小，很难让X射线打到那个区域，就无法表征。所以还是不要用XRD进行细微选区的组织成分表征。 最后一招：直接把你所需的地方截取一小点，看能不能做用化学方法做“化学分析”；这是最原始的，也是精度最佳的。 |
16楼2015-04-02 16:13:45
zhengxp
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2楼2015-03-29 23:31:52
lovelotuss
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3楼2015-03-30 07:16:27
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