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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » EDS线扫描问题
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痴情浪子19

新虫 (小有名气)

[求助] EDS线扫描问题 已有3人参与

钢表面有一层氧化物，特别薄，远小于1微米。采用SEM6000倍时EDS线扫，氧化物处的Fe、Cr、O等可能的组成元素都没有峰变化，如果在一万倍时，氧化层被放大了，会不会扫出来就有变化
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1楼 2015-03-29 22:34:29
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

痴情浪子19

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lovelotuss at 2015-03-30 07:16:27
上场发射的电子探针，表面可以用xps分析，用辉光也是个不错选择

EDS有分辨率么 ，小于1微米的扫不出来？
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5楼2015-03-30 10:00:12
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普通回帖

zhengxp

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
那还不如直接做个面扫描呢，这个会更好吧。如果不行，那就去做EPMA吧
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尽力而为
2楼2015-03-29 23:31:52
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lovelotuss

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
上场发射的电子探针，表面可以用xps分析，用辉光也是个不错选择

[ 发自小木虫客户端 ]
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藕
3楼2015-03-30 07:16:27
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痴情浪子19

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhengxp at 2015-03-29 23:31:52
那还不如直接做个面扫描呢，这个会更好吧。如果不行，那就去做EPMA吧

主要是现在截面形貌也看不到氧化层，扫描电镜是钨丝的，放大倍数6000倍就不错了，再大不清楚了
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4楼2015-03-30 09:59:35
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zhengxp

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
痴情浪子19: 金币+3, ★★★很有帮助 2015-03-31 10:43:57
引用回帖:
4楼: Originally posted by 痴情浪子19 at 2015-03-30 09:59:35
主要是现在截面形貌也看不到氧化层，扫描电镜是钨丝的，放大倍数6000倍就不错了，再大不清楚了...

我明白了，你是看想在氧化层与基体的横截面做个线扫描，证明有氧化层的存在，或想知道氧化层的相组成或元素组成。这样好办，截取两块钢的试样，把氧化层那面贴在一起，然后再去做线扫描，肯定能扫出来。
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尽力而为
6楼2015-03-30 22:36:30
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
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痴情浪子19: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-03-31 10:44:06
考虑场发射吧，几百nm的尤其是截面钨丝的有点吃力，如果还能看清楚，放大当然有益处
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7楼2015-03-30 23:02:44
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jx192

至尊木虫 (职业作家)
一般来说能谱的束斑尺寸在5μm左右，所以LZ你这个结果。。。
其实最简单的方法是TEM 打衍射斑
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8楼2015-04-01 14:50:50
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
8楼: Originally posted by jx192 at 2015-04-01 14:50:50
一般来说能谱的束斑尺寸在5μm左右，所以LZ你这个结果。。。
其实最简单的方法是TEM 打衍射斑

z向还可以说是几个微米，xy向。。5微米开玩笑啊，激光都能比这个小
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9楼2015-04-02 12:47:58
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狂歌战戟

铁虫 (小有名气)
薄膜问题建议做AES测试，EDS测的应该是薄膜下部几微米处的元素分布，不能反映极表面的元素分布

[ 发自小木虫客户端 ]
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10楼2015-04-02 13:04:09
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