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关于CVD在蓝宝石上生长石墨烯的工艺已有1人参与
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各位虫友，第一次发帖，请教大家问题： 最近在用CVD在蓝宝石上生长石墨烯，参考了一些文献，自己是在1040℃，H2流量50sccm，CH4流量25sccm，生长2h，结果啥都没有。有以下几个问题： 1.很少有文章研究气压与生长的关系，据我了解不同的管式炉、不同的真空泵会导致流量相同而气压不同，不知道气压是对生长关系不大呢还是研究它没有意义？ 2.有没有做过类似工作的虫友提提建议里面有哪些要注意的工艺？ 3.自己做出的试样不太方便直接拿去测拉曼或者扫描或者原子力，有没有简单易行的方法可以判断到底有没有获得石墨烯？ |
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6楼2015-04-01 09:47:11
3楼2015-03-31 10:41:55
spiderman504
金虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体光电子器件
4楼2015-03-31 10:55:44
5楼2015-03-31 14:47:21