24小时热门版块排行榜    

查看: 2502  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

赶快毕业吧

木虫 (著名写手)

[求助] 为什么磁控溅射氧化铝不起辉?急求! 已有2人参与

如题,用的是JCP-200高真空磁控溅射镀膜机,初始真空度5Pa以下,本底真空度5e-4Pa左右,功率100W,Ar氛围气压1Pa。为什么靶材是氧化铝的时候不起辉呢?试过将功率调高,或者增加气体流量,可是还是不能起辉。偶尔有可以起辉的时候,大约溅射4-5次能够成功一次。
靶材是Ti或者Au的时候就每次都能起辉。
急求各位大神指教,感激不尽。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

w195254526

新虫 (初入文坛)

我也在用氧化铝靶材溅射,今天用的0.2Pa,功率慢慢加,从60加到了90都不起辉,不敢加了,怕会裂了。请问你用射频溅射是直接加到100W溅射的吗?
7楼2017-03-28 13:34:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)

电源是什么类型?
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2015-03-25 18:59:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
氧化铝是绝缘体,用DC溅射比较困难,可以试试射频溅射。
3楼2015-03-26 00:44:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
除了射频溅射外,考虑一下加热,400度到500度那样的
不要做让自己看不起的事情
4楼2015-03-26 08:46:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 321求调剂 +3 何润采123 2026-03-18 3/150 2026-03-18 21:27 by li123456789.
[考研] 085600材料与化工调剂 324分 +8 llllkkkhh 2026-03-18 8/400 2026-03-18 21:01 by Catalysis25
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +7 步川酷紫123 2026-03-13 7/350 2026-03-18 17:12 by 尽舜尧1
[教师之家] 焦虑 +8 水冰月月野兔 2026-03-13 12/600 2026-03-18 15:27 by 咪呜喵呜
[考研] 材料,纺织,生物(0856、0710),化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 268求调剂 +6 简单点0 2026-03-17 6/300 2026-03-18 09:04 by 无际的草原
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[基金申请] 国自科面上基金字体 +6 iwuli 2026-03-12 7/350 2026-03-16 21:18 by sculhf
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 一志愿华中师范071000,325求调剂 +6 RuitingC 2026-03-12 6/300 2026-03-16 14:50 by 可淡不可忘
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家,不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 复试调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy! 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
信息提示
请填处理意见