应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 为什么磁控溅射氧化铝不起辉?急求!
51/1返回列表
查看: 2480  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

赶快毕业吧

木虫 (著名写手)

[求助] 为什么磁控溅射氧化铝不起辉?急求! 已有2人参与

如题，用的是JCP-200高真空磁控溅射镀膜机，初始真空度5Pa以下，本底真空度5e-4Pa左右，功率100W，Ar氛围气压1Pa。为什么靶材是氧化铝的时候不起辉呢？试过将功率调高，或者增加气体流量，可是还是不能起辉。偶尔有可以起辉的时候，大约溅射4-5次能够成功一次。
靶材是Ti或者Au的时候就每次都能起辉。
急求各位大神指教，感激不尽。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-03-23 10:36:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

赶快毕业吧

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2015-03-25 18:59:45
电源是什么类型？

射频电源。
回复此楼
6楼2015-03-27 12:56:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)
电源是什么类型？
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2015-03-25 18:59:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
氧化铝是绝缘体，用DC溅射比较困难，可以试试射频溅射。
赞一下 回复此楼
3楼2015-03-26 00:44:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
除了射频溅射外，考虑一下加热，400度到500度那样的
赞一下 回复此楼
不要做让自己看不起的事情
4楼2015-03-26 08:46:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭