| 查看: 2500 | 回复: 7 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
赶快毕业吧木虫 (著名写手)
|
[求助]
为什么磁控溅射氧化铝不起辉?急求! 已有2人参与
|
|
|
如题，用的是JCP-200高真空磁控溅射镀膜机，初始真空度5Pa以下，本底真空度5e-4Pa左右，功率100W，Ar氛围气压1Pa。为什么靶材是氧化铝的时候不起辉呢？试过将功率调高，或者增加气体流量，可是还是不能起辉。偶尔有可以起辉的时候，大约溅射4-5次能够成功一次。 靶材是Ti或者Au的时候就每次都能起辉。 急求各位大神指教，感激不尽。 |
回复此楼» 猜你喜欢
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有20人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有279人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有1人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围
已经有6人回复
- 纯金属溅射靶电压提不上来怎么回事
已经有11人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 反应磁控溅射为什么不属于化学气相沉积法呢？
已经有3人回复
- 磁控溅射氧化铝和氧化锌
已经有11人回复
- 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜，加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？
已经有18人回复
- 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
已经有23人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
已经有10人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 有没有童鞋做磁控溅射反应溅射镀氧化铝的？
已经有9人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 磁控溅射高真空抽不下去
已经有12人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
已经有14人回复
- 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少
已经有19人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
1142211017
金虫 (小有名气)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 1034.6
- 散金: 94
- 红花: 4
- 帖子: 203
- 在线: 95.3小时
- 虫号: 3466343
- 注册: 2014-10-10
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
4楼2015-03-26 08:46:38
2楼2015-03-25 18:59:45
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-03-26 00:44:29
赶快毕业吧
木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 4557.3
- 散金: 3710
- 红花: 2
- 帖子: 1065
- 在线: 218.6小时
- 虫号: 3462203
- 注册: 2014-10-09
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
5楼2015-03-27 12:54:40
