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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 为什么磁控溅射氧化铝不起辉?急求!
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赶快毕业吧

木虫 (著名写手)

[求助] 为什么磁控溅射氧化铝不起辉?急求! 已有2人参与

如题，用的是JCP-200高真空磁控溅射镀膜机，初始真空度5Pa以下，本底真空度5e-4Pa左右，功率100W，Ar氛围气压1Pa。为什么靶材是氧化铝的时候不起辉呢？试过将功率调高，或者增加气体流量，可是还是不能起辉。偶尔有可以起辉的时候，大约溅射4-5次能够成功一次。
靶材是Ti或者Au的时候就每次都能起辉。
急求各位大神指教，感激不尽。
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1楼 2015-03-23 10:36:17
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
氧化铝是绝缘体，用DC溅射比较困难，可以试试射频溅射。
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3楼2015-03-26 00:44:29
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
电源是什么类型？
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2015-03-25 18:59:45
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1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
除了射频溅射外，考虑一下加热，400度到500度那样的
赞一下 回复此楼
不要做让自己看不起的事情
4楼2015-03-26 08:46:38
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赶快毕业吧

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cord at 2015-03-26 00:44:29
氧化铝是绝缘体，用DC溅射比较困难，可以试试射频溅射。

我就是用的射频溅射啊。有的时候好使，有的时候就不行了，间歇性抽风。
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5楼2015-03-27 12:54:40
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