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ycyzrenlifei金虫 (小有名气)
南理汉子
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如何利用lift-off工艺做一个二氧化硅的微型图案？（附图）已有1人参与
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图中我是用剥离工艺，在抛光的硅片上，做了一条连起来的金属铜线，然后再上面作一个等间距的二氧化硅长方形条状。 现在的问题是：用这个剥离工艺做二氧化硅的时候，最后发现二氧化硅完全剥离不下来。用指甲用力点才能抠出一道。。。这得多紧啊。。 在网上查到可能在镀二氧化硅的时候温度过高，使得光刻胶变质了；或者也有人给出用超声波清洗；或者使用耐高温性的光刻胶等等等~~~~ 我想问： 1、有没有更好的工艺做这个二氧化硅长方形条？ 2、在社会上，有没有专门做这个的公司、研究院？我的想法是如果我们实验室没有相应的设备的话，我就让人家给我做了，但是不知道有没有这样的地方给做。  1.JPG |
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vincentwz
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2楼2015-03-20 11:52:42